【48812】重大进展！两款国产半导体检测详尽区分范畴设备出机客户是中芯世界

  7月13日，上海精测半导体官宣，国内首台12寸独立式光学线宽丈量设备（OCD）与国内仅有12寸全主动电子束晶圆缺点复查设备（Review SEM）顺畅出机。

  同日，上海精测半导体母公司精测电子在其发表的出资者调研纪要中承认，上述两款产品交给的客户为国内一流先进制程晶圆厂中芯世界。

  精测电子在上述调研纪要表明，半导体研制投入巨大，验证周期长，估计2021年部分半导体产品线完成扭亏，但全体半导体事务完成盈余仍需求更多时刻和尽力。

  二级商场方面，与近期A股其他半导体设备公司的强势体现比较，精测电子相对疲弱。如5月11日以来，北方华创和长川科技股价现已翻倍，而精测电子上涨33%。

  上海精测半导体介绍，OCD设备（产品型号为EPROFILE 300FD）大多数都用在45nm以下、特别是28nm平面CMOS工艺的量测，并能够延伸支撑上述先进工艺节点的快速线宽丈量。

  EPROFILE 300FD丈量体系具有彻底自主知识产权，包含宽谱全穆勒椭偏测头、对焦对位体系、体系软件等中心零部件均为自主研制，是真实意义上的高端国产机台。

  配套EPROFILE 300FD，上海精测半导体还一起发布了新一代电磁场仿真建模东西J_ProfilerTM V3.0。该款软件答使用户在数百核的高速建模运算服务器上进行OCD建模与库匹配，能够在获取杂乱三维纳米结构光谱改变信息后，实时高速的关于纳米结构的各个维度准确值进行核算。

  Review SEM是先进的全主动晶圆在线电子束缺点复查和分类设备，其间配备了根据深度学习的高准确率智能化主动缺点查验测验与分类算法。公司从底层开发做起，扫描电子显微镜、配套扫描成像电路等要害中心部件均为自主规划，并用了近两年的时刻打通了电子显微镜中心零部件加工的国产供应链。

  上海精测半导体成立于2018年7月，首要聚集半导体前道检测设备范畴，现已形成了膜厚/OCD量测设备、电子束量测设备、泛半导体设备三大产品系列。

  上述调研纪要显现，上海精测半导体膜厚产品（含独立式膜厚设备）已获得国内一线客户的批量重复订单、OCD量测设备已获得订单并已完成交给，半导体电子束检测设备eView™全主动晶圆缺点复查设备已正式交给国内客户。其他储藏的产品现在正处于研制、认证以及拓宽的过程中。

  上海精测半导体是精测电子半导体查验测验事务的重要施行载体之一。精测电子估计2021年部分半导体产品线完成扭亏，但全体半导体事务完成盈余仍需求更多时刻和尽力。

  上海精测半导体股东阵营实力充足雄厚。现在，精测电子持有40%的股权，其直接操控50%股权的上海精圆办理咨询合伙企业持有13.33%的股权；国家大基金一期持有13.33%的股权，国家大基金一期和万业企业各持股近20%的上海半导体配备资料工业出资基金合伙企业持有6.67%的股权。

  本年5月，精测电子完成了募资近15亿元的定增事项。其间，拟投入征集资金7.43亿元用于上海精测半导体研制及工业化建造项目。该项目总出资额为12亿元。

  7.43亿元将由精测电子以增资扩股的方法投入上海精测半导体。本次增资完成后，精测电子持有（含直接持股）上海精测半导体的股权份额由46.67%变更为70.79%。

  上述项目拟在上海青浦区施行，在现存事务的基础上，经过建造研制出产用房及配套设备、置办设备、引进人才等，提高公司半导体检测设备、泛半导体工艺和检测设备研制及出产能力。

  现在，我国半导体检测及量测专用设备职业依然被国外有突出贡献的公司占有主导位置，商场集中度高，国内企业依然处于弱势位置。现阶段，精测电子的竞争对手首要有科磊半导体、使用资料等。