市场覆盖率80%！京仪装备半导体制造专用温控设备为打破国外垄断而生

  集微网消息（文/小如）近日，北京科技奖励大会正式召开，212项成果荣获北京市科学技术奖。北京京仪自动化装备技术有限公司（以下简称“京仪装备”）研发的“半导体生产线专用温控系统关键研发技术及应用” 获得北京科学技术奖三等奖。

  据北京市科学技术委员会网站显示，该成果属于动力与电气工程领域，成果为打破国外对半导体工艺制程的高精度温控设备的垄断，自主研发了半导体生产线专用温控设备Chiller。

  据悉，在温控设备领域国内市场基本依赖进口，京仪装备立项目的是打破国际市场的垄断。京仪装备半导体生产线专用温控设备Chiller是一款适用于半导体生产线的设备，能够不间断的提供温度可控的循环液，保障半导体工厂中刻蚀等工艺的设备腔室所需的工艺加工温度，满足温度变化范围大，负载瞬间变化，设定温度随时改变等工况要求，能达到±0.2~0.5℃的温度精度，提高晶圆生产的良率。在 28nm 以下 Diff、Etch、CVD、PVD、WAT、Litho 等工艺流程中都对温控有不同的需求，均要使用到 Chiller 来控制反应温度，为满足半导体生产线的严格要求，适应半导体生产制程的一直在变化，对 Chiller 进行研究开发。

  京仪装备是一家集研发、生产和销售为一体的高端装备制造企业，基本的产品包括半导体温控装置系列（Chiller）、机器人系列（Wafer Sorter/AMR）、废气处理装置系列（Local Scrubber）等专用设备，现已大范围的应用于半导体、LED、LCD等领域。

  据北京商报报道，京仪装备半导体专用温控装置主要使用在在半导体领域，目前在12英寸生产线%。（校对/小北）

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